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表面工程重點實驗室與芬蘭BENEQ公司人員進行交流
來源：本站 時間：2007-11-22 點擊數：
應我所表面工程重點實驗室邀請，芬蘭BENEQ公司首席技術官員 TOMMI VAINIO博士和銷售經理JUHA TANSKANEN一行于11月15日來所就合作開發原子層沉積設備的有關問題進行了交流。
BENEQ公司是世界著名的代表原子層沉積技術最先進水平的知名公司，主要從事原子層沉積技術及其設備開發研究。在本次交流中，TOMMI VAINIO博士介紹了公司的發展歷程、公司的發展方向、公司在原子層沉積技術和設備、工藝研發所取得的成績。我所科技人員表達了開展原子層沉積技術研究的意愿，向TOMMI VAINIO博士請教了該技術的細節問題。TOMMI VAINIO博士表示，國內原子層沉積技術研究剛剛開始起步，擁有廣闊的發展空間，希望與本所展開深入合作。（李錦磊） |